PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

輸入電源	AC 220V , 50/60 Hz,
	大射頻功率: 100 W
	真空泵功率: < 500W
	總功率: < 600W
射頻功率	射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)
	射頻: 13,56 MHz
	可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)
等離子腔體	8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
	鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封
	法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口
控制面板	通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等.
控制面板	儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量
真空泵	儀器中包括一臺(tái)240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動(dòng)擋板閥。
真空泵	極限真空度為50mTorr
通入氣體	等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）
可選	可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
	可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)


外型尺寸	620 L ×450 W ×600 H, mm
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

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