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產(chǎn)品型號(hào)：SH200廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-03-13訪 問(wèn) 量：2314產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-5000rpm(可選最大10000rpm | 加速度范圍 | 20-20000rpm/s |
| 轉(zhuǎn)速精度 | ±1rpm | 光刻膠嘴數(shù)量 | ≤4路 |
| 勻膠工藝配方 | ≤ 100組(每組≤ 100步) | 熱板參數(shù) | 控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1% |
| 設(shè)備尺寸 | 1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H) |
勻烤膠一體機(jī)
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動(dòng)供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過(guò)氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
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