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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
簡要描述:

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):VTC-100PA
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-03-13
  • 訪  問  量:1981

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池
程序運(yùn)行可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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2涂布

   

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真空旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

                        

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 

 

 

主要特點(diǎn)

•真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

•使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。

•根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

•設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。

•電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

•50W/24V 直流電機(jī)

•適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)

 

數(shù)

•電機(jī)功率:50W/24V

•速度范圍:500-10000rpm

•程序運(yùn)行:可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

•增減速率設(shè)置:100rpm/s-2000rpm/s

•時(shí)間范圍:0-60s

•吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口:

上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體,實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

 

可選加熱部分

上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,最高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

 

產(chǎn)品尺寸:450mm×280mm×340mm;

 

重量20kg

 

可選配件:過濾器(真空泵用)

 

保修期:一年保修,終身技術(shù)支持。

 

標(biāo)準(zhǔn)配件

1   真空吸盤(含O型圈)     2個(gè)

2 中心定位器(含4個(gè)定位柱) 1個(gè)

3 滴膠注射器(20ml)          1個(gè)

4 注射器支架                 1個(gè)

5 AP-1400V無油真空泵         1臺(tái)

6 橡膠管(含卡箍)         1根


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