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產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
PECVD等離子體增強氣相沉積是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉爐系統(tǒng)源（帶自動匹配功能）、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。
1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統(tǒng)，OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉爐系統(tǒng)源（帶自動匹配功能）、上游原位蒸發(fā)舟、4通道質子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。
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